超精密零（líng）件加工在尺寸精度、形（xíng）狀精度（dù）、表麵質量等（děng）多（duō）個方麵都有極其嚴格的要求，以下是具體介紹：
尺（chǐ）寸精度
公差範圍極小：超精（jīng）密零（líng）件的尺寸公差通（tōng）常被控（kòng）製在微米（μm）甚至納米（nm）級別。例如，在航空航天（tiān）領域，一（yī）些發（fā）動機葉（yè）片的關鍵（jiàn）尺寸公差可能要求控製在 ±5μm 以內；在半導體製造中，芯片製造所使用的光刻掩膜（mó）版的線條（tiáo）寬度公差可達到 ±10nm 左右。
一致性要求高：對於一（yī）批超精密零件，不僅單（dān）個零件（jiàn）要滿足高精度要求，而且零件之間的尺寸一致性也必須極高。以手機攝像（xiàng）頭中的微型光學鏡片為例，同一批次（cì）鏡片的直（zhí）徑尺寸（cùn）偏差要控製在極小範圍內，否則會影響攝像頭的成像質量。
形狀精度
平麵度（dù）：要求零件的表麵平整度極高，例如，精密光學（xué）平（píng）麵鏡的平麵度可（kě）能要求達（dá）到 λ/10 甚至更（gèng）高（λ 為（wéi）光的波長，通常（cháng）取 632.8nm），即平麵（miàn）的起伏偏差在幾十納米以（yǐ）內。
圓度（dù）：像航（háng）空發動機的渦輪軸等關鍵（jiàn）零件，其（qí）圓度誤差通常要求控製在 0.001mm 以（yǐ）下（xià），以確保在高速旋轉時的穩定性和可（kě）靠性。
圓（yuán）柱度：對於（yú）一些高精度的液壓油缸、氣動元件等（děng），圓柱度要求嚴格，可能在 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良好（hǎo）的密封（fēng）性和運動精度。
位置精度
同軸度：在汽車（chē）發動機的曲軸加工中（zhōng），各軸頸的同軸度誤（wù）差一般要求控製在 0.02mm - 0.05mm 之（zhī）間，否則會影響發（fā）動機的（de）動力輸出（chū）和穩定（dìng）性。
垂直度與平行度：在精密模具製造中，模具的上下模板之間的平行（háng）度誤差通常要求控製在 0.05mm 以內，以保證模具在合模時的精度，從而生產出高質量的（de）產品。
表麵質量
表麵（miàn）粗糙度：超精密零件的表麵粗糙度一般要（yào）求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低（dī）。如硬盤的磁頭滑塊表麵，為了減少與磁盤的摩擦和提高（gāo）讀寫性能，表麵粗糙度可能達到 Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除了粗糙度外，還要求表麵（miàn）無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例如在光學鏡（jìng）片的加工中（zhōng），表麵任何微小的（de）劃痕或裂紋都可能導致光線散（sàn）射，影響（xiǎng）光（guāng）學性能。
材料性（xìng）能一（yī）致性
微觀組（zǔ）織（zhī）均勻性：零件材料的微觀組織如（rú）晶粒大小、相組成等要均勻一致。以（yǐ）高強度合金鋼製造的航（háng）空（kōng）零部件為（wéi）例（lì），若材料微觀組織不均（jun1）勻（yún），會導致零（líng）件在受力時出現局部應力集中，降低（dī）零件的整體性（xìng）能（néng）和使用（yòng）壽（shòu）命。
性能穩定性：材料的力學性能、物理性能等要穩定（dìng）。在電子（zǐ）元（yuán）器件製造中，用於製造芯片的半導體材料，其電阻（zǔ）率（lǜ）、載流子遷移（yí）率（lǜ）等性能參數必須在嚴格的範圍（wéi）內，否則（zé）會影響（xiǎng）芯片的性能和可靠性。
裝配精度
間隙配合（hé）精度：在機械手（shǒu）表的機芯裝（zhuāng）配中，齒輪與軸之間的間隙配合精度通常（cháng）要求（qiú）控（kòng）製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證（zhèng）手表的走時精度。
過盈配合精（jīng）度：在汽車發動機的活塞與活塞銷裝配中，過（guò）盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保活塞與活塞銷之間既能傳遞動力，又能在不同工況（kuàng）下保持良好的工作狀（zhuàng）態（tài）。
